半導體表麵缺陷觀察用飛納場發射電鏡
簡要描述:Phenom Pharos G2 是飛納推出的台式場發射掃描電鏡,可用於半導體表麵缺陷觀察,幫助分析器件表麵、封裝材料和微小缺陷形貌。Phenom Pharos G2 采用肖特基熱場發射電子槍,電子光學放大倍數可達 2,000,000 X,分辨率優於 1.5 nm,適合對高分辨形貌、精細結構和微納尺度特征有要求的研發與檢測場景。
產品型號: Phenom Pharos G2
所屬分類:飛納電鏡
更新時間:2026-08-05
廠商性質:其他
| 品牌 | Phenom 飛納電鏡 | 產地 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 產品新舊 | 全新 | 放大倍率 | 2,000,000 X |
| 分辨率 | 優於 6 nm | 加速電壓 | 1 kV - 20 kV 連續可調 |
| 光學放大 | 27 - 160 X | 電子槍 | 肖特基熱場發射電子槍 |
| 真空模式 | 低 / 中 / 高三種模式 | 探測器 | 背散射探測器、二次電子探測器 |
Phenom Pharos G2 是飛納推出的台式場發射掃描電鏡,可用於半導體表麵缺陷觀察,幫助分析器件表麵、封裝材料和微小缺陷形貌。
Phenom Pharos G2 采用肖特基熱場發射電子槍,電子光學放大倍數可達 2,000,000 X,分辨率優於 1.5 nm,適合對高分辨形貌、精細結構和微納尺度特征有要求的研發與檢測場景。
該產品具備台式化設計、低/中/高三種真空模式、背散射探測器、二次電子探測器,並可根據需求選配能譜探測器。具體配置和價格根據樣品類型、成像需求及功能配置確定,可通過平台詢價/留言入口獲取選型建議,並預約試樣。
產品特點:
1. 肖特基熱場發射電子槍,適合高分辨SEM成像。
2. 電子光學放大倍數可達 2,000,000 X。
3. 分辨率優於 1.5 nm,適合微納結構觀察。
4. 加速電壓 1 kV - 20 kV 連續可調。
5. 支持低/中/高三種真空模式。
6. 標配背散射探測器和二次電子探測器,可選配能譜探測器。
7. 台式設計,適合科研、研發和檢測實驗室部署。
8. 支持選型谘詢,可預約試樣。
應用領域:
可用於半導體表麵缺陷觀察、封裝材料分析、電子材料檢測、失效分析和研發質控。
技術參數:
產品型號:Phenom Pharos G2
產品全稱:Pharos 台式場發射電鏡
產品類型:台式場發射掃描電鏡
光學放大:27 - 160 X
電子光學放大:2,000,000 X
分辨率:優於 1.5 nm
電子槍:肖特基熱場發射電子槍
光學導航相機:彩色
加速電壓:1 kV - 20 kV 連續可調
真空模式:低 / 中 / 高三種模式
探測器:背散射探測器、二次電子探測器
可選探測器:能譜探測器
常見問題:
1. 這款設備適合哪些應用?適合納米材料、半導體、碳材料、催化劑、陶瓷、鋰電材料、光伏材料等高分辨形貌觀察場景。
2. 是否可以做元素分析?設備可根據需求選配能譜探測器,用於顆粒、異物或局部區域的元素分析。
3. 價格是多少?價格根據配置、探測器選項和應用需求確定,可通過平台詢價入口獲取選型建議,並預約試樣。
如需了解 Phenom Pharos G2 在半導體表麵缺陷中的配置方案、應用資料或報價信息,可通過平台詢價/留言入口提交樣品類型與測試需求,獲取選型建議,並預約試樣。


您的位置:
電話4008578882
傳真
郵箱cici.yang@phenom-china.com
公司地址上海市閔行區虹橋鎮申濱路88號上海虹橋麗寶廣場T5,705室
在線交流